晶圆搬运机器人

晶圆搬运机器人NTS10.jpg

晶圆搬运机器人
NTS10

NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。

最大臂展：1066 mm
机器人分类：晶圆搬运机器人
安装方法：地面
系列：NTS 系列

电话: +86 - 188 2022 8787 | 电邮: manzi@xingrauto.com